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FOTON-OHM              

UMR CNRS 6082  

Salle blanche

La salle blanche possède les équipements essentiels à la réalisation de composants de taille micronique (~2µm) :

  • Photolithographie
  • Systèmes de dépôts par effet Joule, Pulvérisation cathodique, canon à électron, PECVD (dépôt assisté par Plasma)
  • Système de gravure : RIE (Reactive Ion Etchnig) avec suivi réfléctométrique - gravure chimique - plasma fab (gravure chimique en phase sèche)
  • Mesures et tests : Profilomètre, caractérisations électriques (résistances de contact - TLM)

La salle blanche accueille chaque année des étudiants de master, de 5 ème année de l'INSA ou d'autres origines pour une formation unique en son genre : le TOP 35. Les étudiants réalisent et caractérisent des structures laser à semiconducteurs émettant à 1.55 µm.

               

                    Canon à électrons                           Aligneur MJB4                                          Micro-soudeuse

                   

                                                      GIR chimie fluorée                                                                               PECVD

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webmaster: C. CORNET